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真空設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 真空設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào): TPS
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

佐藤真空

真空設(shè)備  的詳細(xì)介紹

高真空での各種実験?開(kāi)発?生産プロセスに対応。

■空冷式により水配管不要、保守の負(fù)擔(dān)を軽減。

■場(chǎng)所を選ばない100V 電源。

■メインフレーム?ベースにアルミを採(cǎi)用、軽量化を?qū)g現(xiàn)。

■使いやすさを追求したコンパクト設(shè)計(jì)。

高真空での各種実験?開(kāi)発?生産プロセスに対応。

■空冷式により水配管不要、保守の負(fù)擔(dān)を軽減。

■場(chǎng)所を選ばない100V 電源。

■メインフレーム?ベースにアルミを採(cǎi)用、軽量化を?qū)g現(xiàn)。

■使いやすさを追求したコンパクト設(shè)計(jì)。

ターボ分子ポンプ排気システム<TPS>タイプ

● 補(bǔ)助ポンプをダイアフラム型ドライ真空ポンプ、またはスクロール型ドライ真空ポンプと組み合わせてフルドライの排気系を?qū)g現(xiàn)可能。

● 起動(dòng)?停止に要する時(shí)間が短い。

● 不意の大気導(dǎo)入にも強(qiáng)い構(gòu)造のターボ分子ポンプを採(cǎi)用。

（注）故意に大気導(dǎo)入を繰返しますと故障の原因となります。

油拡散ポンプ排気システム＜DPS＞タイプ

● より低コストで高真空雰囲気を得られます。

● 三方弁の切替機(jī)能により、補(bǔ)助ポンプのみの単獨(dú)排気運(yùn)転も可能。

● 保守點(diǎn)検が容易。

<TPS>タイプ

型　　式 TPS-50ZA TPS-50ZB TPS-50ZC TPS-220ZA TPA-220ZB TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ 50L/s 220L/s
補(bǔ)助ポンプ DW-60 USW-50N MZ-2CNT DW-120 USW-100N ISP-250C
到達(dá)圧力 ×10-5Pa*1 ×10-3Pa*1 ×10-5Pa*1 ×10-4Pa*1
起動(dòng)/停止時(shí)間 3/3min*2 2.2/3.5min*2
吸気口徑 VG-65 VG-100
所要電力（AC） 100V 15A
質(zhì)量 約51kg 約55kg 約45kg 約56kg 約59kg 約70kg
外形寸法
(W×D×Hmm) 		600×400×700 600×400×750 600×400×700 600×400×730 600×400×800 600×400×850

<DPS>タイプ

型　　式 DPS-2-ZA DPS-2-ZB DPS-3-ZA DPS-3-ZB DPS-4-ZA DPS-4-ZB
油拡散ポンプ 58L/s 150L/s 215L/s
補(bǔ)助ポンプ DW-60 USW-50N DW-120 USW-100N DW-120 USW-150N
到達(dá)圧力 ×10-4Pa*3
起動(dòng)時(shí)間 17min*2 22min*2
吸気口徑 VF-50 VF-80 VF-100
所要電力（AC） 100V 15A 100V 15A×2*4
質(zhì)量 約57kg 約60kg 約68kg 約70kg 約70kg 約80kg
外形寸法
(W×D×Hmm) 		600×400×935 600×400×995 600×400×1095 600×400×1030 600×400×1130

＊ 1. ターボ分子ポンプをベーキング?ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。
＊ 2. 起動(dòng)時(shí)間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時(shí)間が異なります。
＊ 3. 吸気口閉め切りでの値です。
＊ 4. 補(bǔ)助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本）があります。
＊お客様の使い勝手?仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたしま

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