本シリーズは研究開(kāi)発用、及び小ロット生産用の抵抗加熱式小型蒸著裝置です。また、本シリーズの一部機(jī)種には電子ビーム(EB)の搭載も可能です。
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型 式 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||
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到達(dá)圧力 | ×10-3Pa | ×10-4Pa | |||
基板加熱溫度 | - | Max 300℃ | |||
蒸発源(電極) | 2対 10V Max150A | 2対 20V Max200A | |||
バルブ操作 | 手動(dòng) | 自動(dòng) | 手動(dòng) | 自動(dòng) | 手動(dòng) |
真空槽 |
φ300×H300mm 透明ガラス |
φ500×H500mm(水冷式) SUS 304 |
φ800×H700mm(水冷式)/前扉式 SUS 304 |
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回転機(jī)構(gòu) | - | 公転機(jī)構(gòu) | 自公転機(jī)構(gòu) | ||
內(nèi)部機(jī)構(gòu) | シャッター機(jī)構(gòu)、抵抗加熱機(jī)構(gòu) | シャッター機(jī)構(gòu),加熱ヒーター,抵抗加熱機(jī)構(gòu) | |||
主ポンプ | 油拡散3inches | 油拡散8inches | 油拡散12inches又はクライオ | ||
補(bǔ)助ポンプ | 150L/min | 500L/min | 1500L/min | ||
主バルブ | 3inches | 8inches | 12inches |
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