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IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹脂型

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產(chǎn)品名稱: IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹脂型
產(chǎn)品型號(hào): TC系列
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹脂型 TC系列，專為半導(dǎo)體工藝設(shè)計(jì)的清洗液循環(huán)、CMP漿液輸送、高純度化學(xué)液供給泵。

IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹脂型  的詳細(xì)介紹
IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹脂型 TC系列            產(chǎn)品特點(diǎn)：

完全自吸，無需自吸

也可以輸送與空氣混合的液體。可用于吸力、排水、推力

由于它以壓縮空氣為動(dòng)力，因此不需要特殊的防爆措施。也不會(huì)因過載而發(fā)熱

高壓排放并且壓力易于控制

通過改變氣室結(jié)構(gòu)，空氣消耗量較之前型號(hào)顯著降低50%

TCT 型是一款專為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的氟樹脂氣動(dòng)隔膜泵

IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹脂型 TC系列     產(chǎn)品參數(shù)：

*大吐出量範(fàn)囲 11?150L/min
*高吐出圧力範(fàn)囲 0.5?0.7MPa
*大エアー消費(fèi)量範(fàn)囲 170?1500NL/min (ANR)
供給エアー圧力範(fàn)囲 0.2?0.7MPa
主要材質(zhì) PTFE（ダイヤフラム、ボールバルブ、バルブシート）
液溫範(fàn)囲 0?80℃（機(jī)種により異なります。）
粘性液 2500mPa·s（詳細(xì)はお問合せください。）
スラリー液 詳細(xì)はお問合せください。
シール方式 シールレス

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