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WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列

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產(chǎn)品名稱: WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列
產(chǎn)品型號: WEX-S* -3*
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列，半導體·FPD制造用*高純度加熱，*適合提供熱處理爐用氛，S型流量10L、L型流量100L，使用溫度300℃。


WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列  的詳細介紹

WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列   產(chǎn)品特點：

1、S/M/L接線板采用EP管結(jié)構(gòu)
?接頭和配管的連接部位為全不銹鋼（SUS316L）制。
?被加熱槽在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。在清潔的配管內(nèi)移送過程中，在清潔的狀態(tài)下被加熱。
 
2、小型輕量高效率
?分別實現(xiàn)*佳規(guī)格，*小流量10L/min~*大流量100L/min，*高使用溫度可達到300℃的產(chǎn)品。
 
3、標準配備熱電偶、恒溫器
?標準裝備有溫度控制、防止過升溫的考慮。接線也很簡單。
 
4、入口/出口接頭可更改
?標準接頭為UJR1/4Female賽斯。
?對應(yīng)1/4~1/2刀槽的入口/出口刀槽

仕様

タイプ Sタイプ Mタイプ Lタイプ
WEX-S* -2* WEX-S* -3* WEX-M* -2* WEX-M* -3* WEX-L* -3*
加熱可能流體 不活性ガス
*高使用溫度 200℃ 300℃ 200℃ 300℃ 300℃
定格流量 ?10L/min ?50L/min ?100L/min
定格容量 130W 190W 400W 560W 1300W
*大動作圧力 0.5Mpa
標準継手 UJR"1/4メス UJR"3/8メス
接ガス部材質(zhì) SUS316L（WEP仕様）
リークレート 1 × 1010Pa??/sec以下
電源 AC100又はAC200
熱電対 Kタイプ クラス2
サーモスタット ディスク型 ブロック型 ディスク型 ブロック型 ブロック型
本體外形寸法（H×W×D） 75×75×98 96×102×128 125.5×100×115 155.5×130×145 178×150×165
本體重量 約1kg 約1.2kg 約2kg 約2.3kg 約4kg
結(jié)線方法 コネクタ取出し リード線2m コネクタ取出し リード線2m コネクタ取出し
標準付屬品 ※1 ※4 ※2 ※5 ※3

※1 サーモ?電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×1
※2 サーモ?電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2
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