RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭 圓晶加壓
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產(chǎn)品名稱:
RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭 圓晶加壓
產(chǎn)品型號(hào):
MFES系列
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭 圓晶加壓/MFES系列（多通道?），是專為半導(dǎo)體行業(yè)而開(kāi)發(fā)的，通過(guò)使用非金屬材料或在與液體接觸的部件上施加涂層，可以創(chuàng)建一種可*大程度地減少金屬離子溶出到液體中的旋轉(zhuǎn)接頭。
RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭 圓晶加壓
的詳細(xì)介紹
RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭 圓晶加壓/MFES系列（多通道）
規(guī)格：
適用流體：純水、藥液、 空氣、真空
*大壓力 ：-0.095～0.6MPa
*大通路：8
*大轉(zhuǎn)速：250min-1
主要途徑與特點(diǎn)：
可以真空·干空氣·純水·研磨液等復(fù)數(shù)流體同時(shí)流動(dòng)。
通常應(yīng)用于CMP設(shè)備
